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智能勻膠機 SC-100

更新時間:2021-03-30      點擊次數:3490

智能勻膠機 型號:SC-100

主要適用于半導體硅片、晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。 
系統配置速變頻馬達,變頻控制涂膠轉速、時間,使整個涂膠過程,穩定。

主要技術指標
 系統支持10個工藝組存儲,每個工藝組可設置4段運行速度及運行時間
  勻膠速度:  0~8000rmp可調
  勻膠時間:  1~9999s任意時間可設置
  旋轉加速度:0~12000rpm/sec   由低速到速加速時間0.1s~0.5s
  轉速穩定度:±1rmp
  涂膠均勻性:±3%
  可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞)
  基片厚度:  ≤5mm
SC-100智能勻膠機

其 它 配 置設備配置Ф260mm接膠裝置(不銹鋼材質)
電機額定功率90W,額定轉速8000rmp
真空系統:FY-1C真空泵一臺,抽氣速率60L/min(標配)
  AP-500V無油真空泵,抽氣速率100L/min(選配)
樣片托:隨機配1英寸一個,2英寸一個,其它規格尺寸按要求定做。
輸入電源: AC220V/240V  50HZ
機身尺寸: 280×360×240mm
機身重量:10Kg

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